1. 청정실
ㅇ 공기 중의 먼지,미립자,압력,온도,습도,기류분포 등을 일정 범위로 제어코자 설비된 실내
2. 청정실 이용 구분
ㅇ BCR(Biological C/R) : 미생물,분진 등을 제거한 청정실(제약,병원,식품제조 등)
ㅇ ICR(Industrial C/R) : 제조 산업시설에 설치되는 청정실
3. 청정실 등급(클래스,class) 주요 기준
ㅇ US Federal Standard 209 : 1, 10, 100, 1000, 10,000, 100,000 (6 등급 구분)
- 각기 다른 입자 크기에 대해 청정실 등급이 결정됨
- 例)
. class 100
.. 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 경우에 그 수가 100개/ft3 이하
. class 10
.. 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 경우에 그 수가 10개/ft3 이하
. class 1
.. 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 경우에 그 수가 1개/ft3 이하
. (미세 전자기기 가공 : 1 ~ 10 classs 정도, 병원 : 10,000 class 정도)
ㅇ ISO 14644-1 : 1 ~ 9 (9 등급 구분) ☞ e나라표준인증 (KS IISO 14644-1)
- 입자 지름 크기별(0.1 ~ 5 ㎛)로, 입자 수에 따라, 9 등급 구분
- 例) 최고 등급 : 1 등급, 일반 실내((room) 공기 : 9 등급
※ 단위 체적 당 입자의 크기 및 수에 따라 정해짐
- 어떤 입자 지름 보다 큰 입자가 단위 부피에 허용되는 입자의 수로 나타냄
. (입자 지름 例 : ≥ 0.1 ㎛, ≥ 0.2 ㎛, ≥ 0.3 ㎛, ≥ 0.5 ㎛, ≥ 1 ㎛ 등)
4. 청정실 오염원 종류
ㅇ 미립자, 금속 불순물, 오염된 유기물질, 자연 산화물, 정전기 방전(ESD)
5. 청정실 유지 방식
ㅇ 환기시설
- 1960년 이후, 고 효율 미립자 공기 필터 (HEPA, High Efficiency Particulate Air Filter)를 통함
- 2010년 이후, ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)를 통해 깨끗한 공기를 공급
- 또한, 여과된 환기를, 중요 공정실에 층류 유동으로 공급시키며, 먼지 입자 공기를 걷어내게함
ㅇ 온도 습도 : 21℃, 상대습도 45%
ㅇ 가장 큰 오염원인 사람에 대한 대책
- 실험실 가운,장갑모자 등 특수 복장 착용, 연필 대신 볼펜(흑연 입자 방지),
클린룸용 종이(특수 용지) 사용 등